電子級過氧化氫的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)、市場和生產(chǎn)技術(shù)
作者/來源：張尊英1.2(1.湖南大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院，湖南 長沙 410082；2.湘南學(xué)院，湖南 郴洲 423000) 日期： 2007-04-03 點擊率：1734
電子級過氧化氫是一種高純度的過氧化氫水溶液，是電子工業(yè)中一種十分重要的工藝化學(xué)品。自從1965年RCA(美國無線電公司)研發(fā)了用于硅晶圓清洗的RCA清洗法以來，隨著電子工業(yè)的高速發(fā)展，電子級過氧化氫也得到高速發(fā)展，同時隨著集成電路的尺寸微小化和處理向高速度方向發(fā)展，也劉其質(zhì)量提出了苛刻的要求。
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